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突破奈米極限臺大團隊日本爭光 參加全球最大奈米展獲獎

更新日期:106年3月10日

圖1:頒獎照片圖2:左-廖先順_中-胡恩德_右-黃光裕圖3:黃光裕老師參展相片

頒獎照片

左-廖先順_中-胡恩德_右-黃光裕

黃光裕老師參展相片

臺大機械與中研院物理所共同開發的次奈米級定位技術獲得東京奈米科技展最佳商業媒合獎,這是臺灣團隊首次在全球規模最大的奈米展中獲得肯定。

政府推動五大創新產業,其中智慧精密機械的發展要素之一,就是開發比微米更高解析的定位技術,以利進行產業升級。中央研究院吳茂昆院士主導的國家型奈米研究計畫推動儀器自製,中研院物理所奈米科學實驗室的張嘉升與黃英碩老師支持下,胡恩德博士團隊研發次奈米級驅動核心技術,並與臺大機械黃光裕、廖先順教授合作,進行工程最佳化設計,經過7年努力,開發出長行程超精密定位系統,可將傳統工具機解析度提升千倍以上,達0.1奈米(等同氫原子直徑,為百億分之一公尺),使臺灣繼德、美、日之後,成為世界第四個擁有此核心技術並成熟商品化的國家。

這項臺灣團隊所開發的定位核心技術,是奈米科技的基礎,也是超精密定位的關鍵,商業價值在2018年將達85億美金(260億臺幣),此技術衍生出各種各樣的超精密線性、旋轉致動系統用途非常廣泛,包括晶圓曝光系統、5奈米以下半導體製程多點電路特性檢測、奈米級X光顯微鏡、原子力顯微鏡與電子顯微鏡等。目前研究團隊所開發的多款原型機已實際應用於中研院物理所多項尖端基礎物理研究儀器之中,並獲德國國家量測中心、美國布魯克黑門實驗室、丹麥、日本大學採用。

臺大萌芽功能中心這項技術透過科技部萌芽計劃補助進行商品化開發,並獲得廠商精浚科技授權技術,參加日本奈米展而獲獎。未來將計畫募資成立新創公司研發奈米定位元件、系統與客製化解決方案。

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